江苏快3 上海微电子装备(集团)股份有限公司

三分彩

金属掩模测量设备 —— AM-OLED张网检测


SOC260

SOC260主要应用于G6产线蒸镀金属掩模的TP/CD检测。
   产品特征

● 龙门气浮结构

● 多自由度激光干涉仪

● 高精度

● 高效率

三分彩● 可配置不同的照明方式

● 可靠的温度控制系统

   主要技术参数

型号

SOC260 

线宽测量重复性

100nm@3sigma(On Metal Mask)

线宽测量精度

±300nm(On Mapping Glass)

长寸测量重复性

300nm@3sigma(On Mapping Glass)

长寸测量重复性

500nm@3sigma(On Metal Mask)